清洁机器人NT420
首页注册:2015年
生产领先的紧凑,轻巧的清洁机器人,用于高速,高精度晶圆处理操作
宽门范围消除了对横向单元的需求,该机器人是行业中最紧凑,轻质的单位之一,并通过现有型号将能耗降低约40%。它还通过现有型号将运输和包装体积减少75%。
产品描述
该机器人具有高度刚性的齿轮系,该机器人提供高速,高精度的晶圆处理,能够进入两到四个前开放式统一吊舱)
特殊功能
- ·拥有卓越的覆盖范围,消除了对行业的需要,在紧凑的尺寸和重量轻的方面取代了行业的顶部位置
- ·由于提供高功率传输效率和不需要横移动单元的设计的齿轮系,每个传输长度的功耗小于现有型号的功耗约为40%